ウェーハ移載機
簡易ウェーハ移載機
対象ウェーハ | SEMI規格シリコン 6インチ(オリフラ)/8インチ(Vノッチ) ※ 裏面吸着可能なウェーハ ※ ウェーハのサイズ、厚さ、反り等につきましてはご相談ください |
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対象カセット | 6インチ スロットピッチ 4.7625mm 25スロット 8インチ スロットピッチ 6.35mm 25スロット |
移載時間 | アライメント 有り 約8分 / 無し 約3分 (マッピング動作を除く) |
安全機構 | 非常停止ボタン カーテンセンサ(カセットステージ部) カセット在荷センサ ウェーハ飛出しセンサ メンテナンスカバー検知センサ LED積層表示灯(3色/4色) |
OCR | 読取りについては事前に評価可能 読取り困難な特殊文字につきましてもご相談ください。 |
装置サイズ | 840mm(W)×700mm(D)×1,278mm(H) ※ 表示灯、モニター、ボタン等の突起物を除く |
重量 | 約80Kg |
電源 | AC100V±10% 10A |
圧空 | 0.5MPa以上 |
真空 | -53kPa以上 |

特殊ウェーハ移載機
貼り合わせ等の特殊ウェーハや特殊なカセットに対応した特注装置のご提案もいたします。
ウェーハやカセットの形状につきましてはご相談ください。
ウェーハやカセットの形状につきましてはご相談ください。
