ウェーハ移載機

簡易ウェーハ移載機

対象ウェーハ	SEMI規格シリコン　6インチ（オリフラ）/8インチ（Vノッチ） ※ 裏面吸着可能なウェーハ　 ※ ウェーハのサイズ、厚さ、反り等につきましてはご相談ください
対象カセット	6インチ　スロットピッチ　4.7625mm　25スロット 8インチ　スロットピッチ　6.35mm　25スロット
移載時間	アライメント　有り　約8分　/　無し　約3分　（マッピング動作を除く）
安全機構	非常停止ボタンカーテンセンサ（カセットステージ部）カセット在荷センサウェーハ飛出しセンサメンテナンスカバー検知センサ LED積層表示灯（3色/4色）
OCR	読取りについては事前に評価可能読取り困難な特殊文字につきましてもご相談ください。
装置サイズ	840mm（W）×700ｍｍ（D）×1,278ｍｍ（H） ※ 表示灯、モニター、ボタン等の突起物を除く
重量	約80Kg
電源	AC100V±10％　10A
圧空	0.5MPa以上
真空	-53kPa以上

貼り合わせ等の特殊ウェーハや特殊なカセットに対応した特注装置のご提案もいたします。
ウェーハやカセットの形状につきましてはご相談ください。