ウェーハ外観検査装置

対象ウェーハ
　300㎜シリコンウェーハ

対象カセット
　FOUP、AUTO FOSB

【特徴】
　・エッジクリップハンドにより、ウェーハの表裏面に接触することなく搬送
　・目視観察ステージへウェーハを自動供給
　・目視観察位置の登録が可能
　・ウェーハの検査姿勢をマニュアル変更可能（傾斜、回転、XY方向）