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ウェーハ外観検査装置

300mmウェーハ目視外観検査装置

 

対象ウェーハ
 300㎜シリコンウェーハ

対象カセット
 FOUP、AUTO FOSB

【特徴】
 ・エッジクリップハンドにより、ウェーハの表裏面に接触することなく搬送
 ・目視観察ステージへウェーハを自動供給
 ・目視観察位置の登録が可能
 ・ウェーハの検査姿勢をマニュアル変更可能(傾斜、回転、XY方向)

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