ウェーハ外観検査装置
300mmウェーハ目視外観検査装置
対象ウェーハ
300㎜シリコンウェーハ
対象カセット
FOUP、AUTO FOSB
【特徴】
・エッジクリップハンドにより、ウェーハの表裏面に接触することなく搬送
・目視観察ステージへウェーハを自動供給
・目視観察位置の登録が可能
・ウェーハの検査姿勢をマニュアル変更可能(傾斜、回転、XY方向)
300㎜シリコンウェーハ
対象カセット
FOUP、AUTO FOSB
【特徴】
・エッジクリップハンドにより、ウェーハの表裏面に接触することなく搬送
・目視観察ステージへウェーハを自動供給
・目視観察位置の登録が可能
・ウェーハの検査姿勢をマニュアル変更可能(傾斜、回転、XY方向)
