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Mask Alignment Checker

重ね合わせ精度測定装置 MAC-R

  • パワーデバイス、レガシー半導体生産の切り札
  • 汎用型決定版75mm~200mmウェーハに対応
  • 信頼のブランド 量産ラインで実証済み
  • MACシリーズ 販売実績200台以上
  • MAC-Rそれは合理的量産戦略から生まれた賢い選択肢
  • 信頼性を損なうことなく必要にして十分なスペックを極めることで低価格を実現

Advantage1     Just fit New introduction

新規導入にジャストフィット Cost performance
低価格&低ランニングコスト
対象となる製品を絞ることによって、必要にして充分なスペックを極め、旧型機と比較して2分の1という低価格を実現。
消耗部品が少ないので、メンテナンスにかかる費用を抑えることができ、ランニングコストを大幅に圧縮することができます。

Advantage2     Just fit space

買換えにジャストフィット Space saving
低フットプリント
1300mm×1300mmグレーチング床板4枚程度の省スペース設計。新規ライン設計での自由度が高いほか、旧型機と同サイズなので、既存のラインそのままで、入れ替えが可能。買い替えに伴うラインの再設計・改修が不要なため、大幅なコスト削減に繋がります。
元のスペースに入れ替えるだけ
周辺機を移動させる必要なく設置可能

Advantage3     Just fit various wafers sizes

どんな生産ラインにもジャストフィット Various wafers
各種ウェーハ対応
様々な素材・サイズ(小径・化合物半導体)のウェーハに対応。納入後のウェーハ仕様変更も可能です。
sic,Gan,サファイア等対応

ウェーハサイズ 2”3”4”5”6”8”(2インチ差であれば共用可能)
ウェーハの種類 Si、SiC、GaN、GaAs、Quartz、Sapphire
測定再現性(3σ) ≦ 7.0 nm    ※R to Rで ≦ 3.0 nm
TIS(平均値) ≦ ± 7.0 nm
スループット 100 枚/h 以上 ※ウェーハ内5ポイントでの連続測定
装置サイズ      1300mm(W)×1300mm(D)×1460mm(H)
装置質量 800 kg
MAC-R1.jpg

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