東京航空計器株式会社
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販売実績品

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MODEL MAC-92

ユーザフレンドリーな操作性と高精度の高速自動測定を実現した重ね合わせ精度測定装置


製品写真
ウェーハ 150mm or 200mm
キャリア数量 2個
重ね合わせ
計測部
測定再現性:5nm(3σ)以下
TIS平均値:±5nm以内
スループット:100枚以上/時間(5露光域内の1点測定にて)
外形寸法 約1300(W)×1300(D)×1650(H)mm


MODEL MAC-110

ユーザフレンドリーな操作性と高精度の高速自動測定を実現した重ね合わせ精度測定装置


製品写真
ウェーハ 150mm or 200mm
キャリア数量 2個
重ね合わせ
計測部
測定再現性:3nm(3σ)以下
TIS平均値:±3nm以内
スループット:120枚以上/時間(5露光域内の1点測定にて)
外形寸法 約1400(W)×1400(D)×1700(H)mm


MODEL MAC-110MV1

プロセスウェーハ上の各ステップの重ね合わせ誤差の自動計測及びマクロ検査機能を有する多機能重ね合わせ精度測定装置


製品写真
ウェーハ 200mm
キャリア数量 3個
外観検査部 処理速度:260枚/時間以上(傾斜動作のみ)
検査項目:99項目まで入力可
重ね合わせ
計測部
測定再現性:3nm(3σ)以下
TIS平均値:±3nm以内
器差間誤差:10nm以下(中央値)
スループット:100枚以上/時間 (5露光域内の1点測定にて)
外形寸法 約1500(W)×2000(D)×1700(H)mm


MODEL 5045

レチクルの差し替え作業を自動化し、安全確実なクリーン搬送を実現した移載装置


製品写真
対象マスク 6インチレチクル(6025タイプ)
ステッパカセット SMIFタイプ、1枚入れ/6枚入れ、各1EA搭載
1枚入れタイプ×最大6スロット
搬送所要時間 30秒/枚
カセット→カセット間、1枚移載時
電源 1Ф×AC200±10V 50/60Hz、1kVA 以下
負荷:-0.5MPa以下
外形寸法 約980(W)×980(D)×1530(H)mm
重量 約200kg以下


MODEL 5039

レチクルの差し替え作業を自動化し、安全確実なクリーン搬送を実現した移載装置(クリーニング・観察ステージ機能を搭載)


製品写真
対象マスク 5インチ、6インチ(ペリクル付き)
ステッパカセット 5インチ用または6インチ用
レチクルケース 6インチ1枚入れ及び10スロットタイプ
6インチ:1枚入れ 正置、オフセット置
搬送所要時間 60秒/枚
レチクルケース→ステッパケース移し替え時間、検査時間、クリーニング時間含まず
電源 1Ф×AC100±10V 50/60Hz、1kVA 以下
ドライN2エアー 0.5MPa以上
外形寸法 約1200(W)×1340(D)×1600(H)mm
重量 約400kg以下


MODEL 7500

レチクルの差し替え作業を自動化し、安全確実なクリーン搬送を実現した移載装置


製品写真
対象マスク 5インチレチクル(5009タイプ)
ステッパカセット 5インチ×5スロット
シッピンカセット
5インチレチクル用、 1枚入れタイプ
10枚入れタイプ
搬送所要時間 平均20秒/枚以下
カセット→カセット間、5枚移載時
電源 1Ф×AC100±10V 50/60Hz、1kVA 以下
正圧 0.5MPa(駆動)
外形寸法 約1200(W)×1340(D)×1600(H)mm
重量 約300kg以下


MODEL 5180

シリコンウェーハをロボットにより取り出し、検査に適した姿勢を自動動作により再現した表面・裏面・端面のキズや欠けの目視検査を行う装置


製品写真
ウェーハサイズ 150mm or 200mm
使用キャリア 25枚:3/16インチピッチ
25枚:1/4インチピッチ
動作 動作 傾斜,表裏回転,自転動作, 旋回(オプション)
搬送所要時間 25秒以下/枚
ウェーハを各4秒観察時。
電源 AC100V±10%,50/60Hz、MAX10A
供給圧 真空圧 -600mmHg以上 10L/min
外形寸法 約1140(W)×940(D)×850(H)mm
重量 約200kg


基板欠陥検査装置

リソグラフィ−工程におけるパタ−ンニングされたウェ−ハ上のマクロ欠陥(露光不良・レジストムラ・現像不良)を検査する装置


製品写真

欠陥の画像検出手法は、レジストエッジからの反射光を選択的に検出する独自の光学系を採用しており、超高感度の画像検出を実現しております。




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