東京航空計器株式会社
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重ね合わせ測定装置

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MODEL MAC-R

ユーザフレンドリーな操作性と高精度の高速自動測定を実現した重ね合わせ精度測定装置


製品写真
ウェーハ 3インチ〜8インチ
キャリア数量 2個
重ね合わせ測定部 測定再現性:≦7.0nm(5.0nm) *R to Rで≦3.0nm
TIS平均値:≦±7.0nm
スループット:110枚/H *R to R でウェーハ内5ポイントでの連続測定
外形寸法 約1300(W)×1300(D)×1700(H)mm



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