東京航空計器株式会社
ナビゲーションをスキップしてコンテンツへ ホーム 会社案内 事業案内 製品案内 採用情報 お問い合わせ 英語版

半導体機器

半導体業界向けに、ウェーハやデバイスの製造工程において必要とされるウェーハの検査・測定装置や搬送装置及びレチクルの移載や保管装置をご提供しています。



露光装置で焼きつけたパターンの重ね合わせのズレ量を計測する装置を揃えています。



  • 露光装置のレチクルを各種ケース間で移し替える装置
  • レチクルを清浄な雰囲気中で大量に収納できる保管庫

を揃えています。



  • 口径200mmや300mmのベアウェーハの表裏面を目視観察するための外観検査装置
  • ウェーハ上に生成した微小な間隔のレジストリ形状を自動的に抽出できる基板欠陥検査装置

を揃えています。



同種あるいは異種容器間でウェーハを決められた手順にしたがって移し替えしたり、次工程のために特性別にウェーハを容器に詰める装置を揃えています。



過去に販売した製品の一覧です。



このページの先頭へ

ページの先頭へ