レチクル移載・保管
レチクル移載機8600シリーズ（オートブロー・目視観察付き）
対象レチクル
・6インチ
対象ケース
・各種マスクケース / NIKONケース / CANONケース / RSP（マルチ・シングル）
特徴
・安全確実でクリーンな移し替え搬送と落下及び引きずり出しの防止を実現
・各マスクメーカーのレチクルケースと露光装置用のカセットに対応
・RF-TAGの読み書きやレチクルIDの読み取りに対応
・特殊照明を用いた目視観察ステージを搭載
・風圧による自動クリーニング機能を搭載（ペリクル面の風圧も自動切換え）
・クリーン配管化（汚染が懸念される部材は使用していません）
・ブラシレスモータの採用や直動式ロボットの組み合わせでメンテナンスを軽減
・ミニエンにも対応可能
・日本国内のデバイスメーカー様での導入実績80台以上
レチクル移載機8600シリーズレチクル移載機RECシリーズ
対象レチクル
・5インチ / 6インチ
対象ケース
・NIKONケース / CANONケース
※上記以外のケースにつきましては、ご相談ください
特徴
・ケースの自動開閉機構
・特殊照明による目視観察ステージを搭載
・ハンドガンによるゴミの除去
・簡易操作
レチクル移載機RECシリーズレチクル容器ストッカー
対象容器
・6インチ NIKONケース / CANONケース
・9インチ NIKONケース
特徴
・ケースID（バーコード、QRコード等）にて、収納棚との紐づけ管理
・地震によるケースの飛び出し防止
・装置にトラブルが発生しても、庫内から容易に容器が取り出せます
レチクルストッカーRCSシリーズ